隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體壓力傳感器也應(yīng)運(yùn)而生，其特點(diǎn)是體積小、質(zhì)量輕、準(zhǔn)確度高、溫度特性好。特別是隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體傳感器向著微型化發(fā)展，而且其功耗小、可靠性高。
壓力傳感器的種類很多，根據(jù)不同的分類標(biāo)準(zhǔn)可以分成不同種類。下面為大家介紹兩種最為常見(jiàn)的壓力傳感器：
1擴(kuò)散硅式壓力傳感器
擴(kuò)散硅壓力傳感器工作原理是基于壓阻效應(yīng)，利用壓阻效應(yīng)原理，被測(cè)介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的膜片上(不銹鋼或陶瓷)，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻值發(fā)生變化，利用電子線路檢測(cè)這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個(gè)對(duì)應(yīng)于這一壓力的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量信號(hào)。
擴(kuò)散硅壓力傳感器體積小、重量輕，性能穩(wěn)定，適合制作小量程的變送器，主要應(yīng)用于過(guò)程控制系統(tǒng)、壓力校準(zhǔn)儀器、液壓系統(tǒng)、生物醫(yī)藥儀器、液壓系統(tǒng)及閥門、液位測(cè)量、制冷設(shè)備和 HVAC 控制等行業(yè)。
2、電容式壓力傳感器
電容式壓力傳感器是一種利用電容敏感元件將被測(cè)壓力轉(zhuǎn)換成與之成一定關(guān)系的電量輸出的壓力傳感器。它一般采用圓形金屬薄膜或鍍金屬薄膜作為電容器的一個(gè)電極，當(dāng)薄膜感受壓力而變形時(shí)，薄膜與固定電極之間形成的電容量發(fā)生變化，通過(guò)測(cè)量電路即可輸出與電壓成一定關(guān)系的電信號(hào)。
電容式壓力傳感器具有輸入能量低，高動(dòng)態(tài)響應(yīng)，自然效應(yīng)小，環(huán)境適應(yīng)性好等特點(diǎn)。其中，陶瓷電容壓力傳感器因其耐腐蝕、抗沖擊、無(wú)遲滯、介質(zhì)兼容性強(qiáng)等優(yōu)勢(shì)可以廣泛應(yīng)用在水、氣、液多種介質(zhì)的壓力檢測(cè)。
壓力是生產(chǎn)生活中的重要參數(shù)之一，壓力傳感器也廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境，涉及水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、石化、油井、電力、船舶、機(jī)床、管道等眾多行業(yè)。
