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高純氣體輸送/使用環(huán)節(jié)監(jiān)測(cè)

應(yīng)用概述

高純氣體從存儲(chǔ)，輸送，分配到使用，都離不開壓力監(jiān)測(cè)。麥克傳感器研制生產(chǎn)的壓力變送器是精準(zhǔn)獲取高純氣體壓力信息的有力儀表，對(duì)需要保障供氣系統(tǒng)安全、穩(wěn)定、無污染且滿足工藝制成要求的用戶來說，是理想的選擇。

應(yīng)用挑戰(zhàn)：

1、現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境惡劣，對(duì)儀表穩(wěn)定性要求高；

2、工況復(fù)雜，現(xiàn)場(chǎng)儀表的測(cè)量精度要求高；

3、保障供氣系統(tǒng)安全、穩(wěn)定、無污染且滿足工藝制成。

解決方案優(yōu)勢(shì)：

1、產(chǎn)品密封性高，氦氣泄漏率: ≤ 1 x 10-10MPa I/ sec(atm STD cc/sec)，符合SEMIF1；

2、潔凈度高，生產(chǎn)地點(diǎn)：百級(jí)清潔車間；表面處理：電拋光，符合SEMI F19；表面光潔度：典型值≤0.13μm 最大值≤ 0.18 μ；

3、耐腐性好，材質(zhì)316L VAR，符合 SEMI F20 標(biāo)準(zhǔn)；

4、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好，長(zhǎng)期穩(wěn)定性±0.25%FS/年，高EMC防護(hù)等級(jí)，零點(diǎn)可調(diào)；

5，結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，緊湊精小，適用于狹小空間

高純氣體專用儀表
新聞與活動(dòng)
相關(guān)行業(yè)應(yīng)用

  • 氧氣壓縮氣瓶

    壓縮氣瓶的供氣管道與供氣管通需采用壓力變送器來監(jiān)測(cè)其壓力情況，保障氣瓶使用安全。

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  • 氫氣運(yùn)輸管道監(jiān)測(cè)

    由于氫氣極易擴(kuò)散、易燃易爆等特性，為保證其運(yùn)輸過程中的安全性，需要壓力變送器對(duì)其進(jìn)行嚴(yán)格的壓力監(jiān)測(cè)。

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  • 制氧機(jī)/制氮機(jī)

    制氮機(jī)/制氧機(jī)多用于電子、醫(yī)療、空調(diào)冷庫或食品飲料行業(yè)，在制氮機(jī)/制氧機(jī)上的壓力變送器除了監(jiān)測(cè)容器內(nèi)的壓力，還常用于變壓吸附過程的監(jiān)測(cè)。

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  • 立式/臥式深冷高壓儲(chǔ)罐

    立式/臥式深冷高壓儲(chǔ)罐壓力變送器除了測(cè)量罐內(nèi)壓力，也用于測(cè)量罐體絕對(duì)壓力及低溫泵前后的壓力，以保障系統(tǒng)安全運(yùn)行，差壓測(cè)量是測(cè)量深冷高壓散裝儲(chǔ)罐液位最普遍可靠的方式。

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